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產(chǎn)品展示

EMMI和OBIRCH二合一系統(tǒng)TIVA

一 、漏電定位手段有三種

1、偵測光子(EMMI)

2、激光刺激偵測阻抗變化(TIVA&VBA)

3、偵測熱(Thermal)


EMMI和OBIRCH二合一系統(tǒng)TIVA

產(chǎn)品簡介:

Semicaps是一家先進的芯片漏電定位設備制造商,公司產(chǎn)品涵括正置、倒置、靜態(tài)、動態(tài)各種應用的機型,世界TOP50的半導體公司很多是他的客戶。在Lock in信號增強技術(shù)和SIL鏡頭(納米線寬偵測)技術(shù)領(lǐng)域,位于行業(yè)前列。2013年Semicaps和儀準合作正式進入中國,憑借著產(chǎn)品的先進性、合理的價格以及完善的售后服務體系,迅速得到中國廣大客戶的認可。

具體規(guī)格如下:

Si探測器

采集晶片

硅基芯片

像素

1024  × 1024 pixel

像素尺寸

13 微米  × 13 微米

晶片尺寸

13.3毫米 × 13.3 毫米

噪音

6 electrons rms

冷卻方式

電制冷+水冷

探測器晶片低降溫

-70°C

冷卻時間

小于10分鐘(常溫至-70°C)

InGaAs探測器

采集晶片

銦砷化鎵晶片

像素

640  × 512 pixel

像素尺寸

20 微米 x 20 微米

晶片尺寸

12.8毫米 x 10.24 毫米

冷卻方式

電制冷+水冷

探測器晶片低降溫

-70°C

冷卻時間

小于10分鐘(常溫至-70°C)

Thermal探測器

晶片類型

MCT

像素

640  × 512 pixel

像素尺寸

15 微米

晶片尺寸

9.6 毫米 x 7.68 毫米

冷卻方式

Stirling cooled

探測器晶片低降溫

80k

TIVA模塊

激光部分

激光能量:500毫瓦
激光波長:1340納米
掃描像素:2048×2048 pixel
Laser Pulsing 功能:靈敏度提升9倍

電流源部分

配置Keithely2450規(guī)格如下:
電壓范圍:+-200V
電壓分辨率:500nV
電流范圍:小于等于1A
電流分辨率:10fA
也可以外接客戶B1500、B1505、4200等測試儀

主控臺

移動方式

電腦+手搖桿雙控制

X-Y-Z移動范圍

50*50*100 毫米

X-Y移動解析度

0.1微米

Z移動解析度

0.02微米

光學顯微鏡

品牌

Semicaps定制

目鏡

10X一對

物鏡

2.5x,5x,20x,HR50x(100x選配)

探針臺

尺寸

6、8、12寸單雙面探針臺可選

電壓范圍

3000V以下可選

電流范圍

直流10A以內(nèi);脈沖40A以內(nèi)可選

探針座移動精度

0.7微米

減震臺

減震方式

大理石+減震氣囊雙防震系統(tǒng)

減震效果

97%@10Hz


SEMICAPS SOM 1100
微光顯微鏡

InGaAs 探測器

采集晶片

銦砷化鎵晶片

像素

640*512 pixel

像素尺寸

20 微米×20 微米

晶片尺寸

12.8 毫米 x 10.24 毫米

冷卻方式

電制冷+水冷

探測器晶片最*低降溫

-70°C

冷卻時間

小于 10 分鐘(常溫至-70°C)

TIVA 模塊

激光部分

激光脈沖能量:500mW
激光波長:1340 納米
掃描像素:2048*2048 pixel
Laser Pulsing 功能:靈敏度提升9倍
具備數(shù)字Lock-in功能

電流源部分

配置 Keithely2450 規(guī)格如下:
電壓范圍:+-200V
電壓分辨率:500nV
電流范圍:小于等于 1A
電流分辨率:10fA
也可以外接客戶 B1500、B1505、4200 等測試儀

主控臺

移動方式

電腦+手搖桿雙控制

X-Y-Z 移動范圍

50*50*100 毫米

X-Y 移動解析度

0.1 微米

Z 移動解析度

0.02 微米

光學顯微鏡

品牌

Semicaps 定制

目鏡

10X 一對

物鏡

2.5x,5x,20x,HR50x(100x 選配)

探針臺

尺寸

6、8、12 寸單雙面探針臺可選

電壓范圍

3000V 以下可選

電流范圍

直流 10A 以內(nèi);脈沖 40A 以內(nèi)可選

探針座移動精度

0.7 微米

減震臺

減震方式

大理石+減震氣囊雙防震系統(tǒng)

減震效果

97%@10Hz

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